应用行业
太阳能电池主要包括晶体硅太阳能电池和薄膜太阳能电池, PVD 工艺主要应用于薄膜太阳能电池中。晶体硅太阳能电池转化效率较高、性能稳定,且各个产业环节比较成熟,占据了太阳能电池市场的主导地位。与晶体硅太阳能电池相比,薄膜太阳能电池材料用量大大减少,从而大幅降低了制造成本和产品价格,同时,薄膜太阳能电池还具有制造温度低、应用范围大等特点。
CIGS薄膜太阳能电池,由Cu(铜)、In(铟)、Ga(镓)、Se(硒)四种元素构成最佳比例的黄铜矿结晶薄膜太阳能电池,是组成电池板的关键技术。CIGS太阳能电池已是太阳能电池产品的明日之星,可以与传统的晶硅太阳能电池相抗衡。
应用于薄膜光伏太阳能的尤特靶材如下:
平板显示产业也是高纯溅射靶材的主要应用领域之一。 平板显示器主要包括液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、有机发光二极管显示器(OLED)等,以及在 LCD 基础上发展起来的触控(TP)显示产品。镀膜是现代平板显示产业的基础环节,几乎所有类型的平板显示器件都会使用大量的镀膜材料来形成各类功能薄膜,其所使用的 PVD 镀膜材料主要为溅射靶材。
平面显示面板的生产工艺中,屏显玻璃基板要经多次溅射镀膜形成 ITO 玻璃,然后再经过镀膜、加工组装用于生产 LCD面板、 PDP 面板及 OLED 面板等。对于触控屏,则还需将 ITO 玻璃进行加工处理、经过镀膜形成电极,再与防护屏等部件组装加工而成。此外,为了实现平板显示产品的抗反射、消影等功能,还可以在镀膜环节中增加相应膜层的镀膜。
应用于平面显示的尤特靶材如下: